无色透明液体，易燃。相对密度(d40) 1.215。熔点- 46℃(a)，- 62℃(p)。沸点180～190℃。折射率1. 3967。易溶于水，溶于乙醚，但难溶于乙醇。

三氯氧磷与甲醇在碳酸钾存在下反应生成磷酸三甲酯。同时反应生成磷酸二甲酯钾盐，则用硫酸二甲酯反应生成磷酸三甲酯。磷酸三甲酯粗产品经水洗、脱色、脱水、减压蒸馏得成品。

主要用作医药和农药的溶剂及萃取剂。农药中间体。