无色透明液体，有特殊气味，可燃。相对密度(d20) 0.963。沸点156℃；49℃  (1. 6kPa)。闪点54℃。折射率1. 413。易溶于乙醇、乙醚等有机溶剂，不溶于水。在水中易逐渐水解成亚磷酸二乙酯。

以无水乙醇、三氯化磷和液氨为原料在二甲苯溶剂中进行酯化反应，生成亚磷酸三乙酯，粗酯经水洗去除氯化铵及亚磷酸二乙酯，蒸馏脱溶剂后，再经精馏得成品。

农药中间体，用以制取杀螟威等农用杀虫剂。也可用作增塑剂和稳定剂，以及润滑油脂的添加剂。医药中间体，用于生产苯噻啶。